[发明专利]一种溶胶－凝胶薄膜气敏传感器制造方法无效
| 申请号： | 200510025498.8 | 申请日： | 2005-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1693886A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 顾铮先;徐艳平;陈家璧 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溶胶－凝胶薄膜气敏传感器制造方法，其制作步骤及方法是：(1)选择光纤光栅；(2)确定镀膜厚度；(3)光纤光栅包层涂膜；(4)制备多孔气敏薄膜；(5)传感头制作。本发明提供了一种小型化、高集成、可遥测的高灵敏溶胶－凝胶薄膜气敏传感器的制造方法，应用这种方法所制造的传感器，对检测气体具有很高的灵敏度，对膜层折射率的测量分辨率可高达10－8，它集中了薄膜传感器和光纤光栅结构的优点，可广泛应用于光化学传感器中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溶胶 凝胶 薄膜 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溶胶—凝胶薄膜气敏传感器制造方法，其特征在于，其制作步骤及方法是：(1)选择光纤光栅；(2)确定镀膜厚度；(3)光纤光栅包层涂膜；(4)制备多孔气敏薄膜；(5)传感头制作。
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