[发明专利]微型二维解耦工作台无效
| 申请号： | 200510023219.4 | 申请日： | 2005-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN1644329A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 马奎;董卫军;戴晖 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | B25J7/00 | 分类号： | B25J7/00;B23Q1/44;G12B5/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 20009*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型二维解耦工作台，包括压电陶瓷驱动器、X向杠杆放大机构、Y向杠杆放大机构、Y向运动框架以及工作台，所述工作台通过柔性铰链连接在X向杠杆放大机构上，所述X向杠杆放大机构串联在Y向运动框架上，所述Y向运动框架通过柔性铰链连接在Y向杠杆放大机构上，所述工作台还通过一组解耦直线导向机构与Y向运动框架相连接，所述Y向运动框架还通过一组解耦直线导向机构与基板相连接。本发明的工作台输出位移范围大、分辨率高，两个运动方向无耦合误差。可应用于微型机械零件装配、微机电系统组装、超精密加工、光学调整、生物细胞操作等领域精确定位。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 二维 工作台 | ||
【主权项】：
1.一种微型二维解耦工作台，包括压电陶瓷驱动器(1)、X向杠杆放大机构(4)、Y向杠杆放大机构(8)、Y向运动框架(7)以及工作台(6)，其特征在于：所述工作台(6)通过柔性铰链连接在X向杠杆放大机构(4)上，所述X向杠杆放大机构(4)串联在Y向运动框架(7)上，所述Y向运动框架(7)通过柔性铰链连接在Y向杠杆放大机构(8)上，所述工作台(6)还通过一组解耦直线导向机构(5)与Y向运动框架(7)相连接，所述Y向运动框架(7)还通过一组解耦直线导向机构(5)与基板(9)相连接。
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