[发明专利]光学波段的近场显微镜

摘要

光学波段的近场显微镜，属于光学波段近场探测装置，目的在于免去探针及其与样品间距保持技术及其系统，同时实现超衍射限分辨率成像和光谱探测。本发明包括顺序排列的近场取景窗、近场编码板、转换光波导、分光系统和光电探测器；近场编码板为按循环s矩阵分布的亚波长小孔阵列，小孔孔径小于瑞利判据中的r值；经取景窗过来的光在小孔中被提取并在光波导中转化成传导波送往后续装置。本发明可以供多观察手段联用；可以在研究细胞与激光束相互作用的同时进行亚细胞水平的观察，系统承受外场作用能力大为增强；可以在对样品做纳米分辨率的成像观察同时，得到样品的纳米分辨图像的光谱信息；分辨率与现有探针扫描近场光学显微镜相似，为50nm左右。

主权项

1.一种光学波段的近场显微镜，包括顺序紧密排列的近场取景窗、近场编码板、转换光波导和光电探测器；近场取景窗为一矩形透光窗；近场编码板为在能遮挡工作波段光的亚波长厚度材料上的亚波长小孔阵列，该小孔阵列按循环s矩阵分布，小孔孔径小于或远小于瑞利判据中的r值；转换光波导中间芯为透光材料，外侧面为反光膜或低折射率材料，经取景窗过来的光在近场编码板的小孔中被提取并在转换光波导中从近场瞬失波逐步转化成传导波送往后续装置。