[发明专利]光阻清洗剂有效
| 申请号： | 200510000184.2 | 申请日： | 2005-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN1800988A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 许铭案;郭光埌;蔡牧霖;戴杏如 | 申请（专利权）人： | 新应材股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄健 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种包含单甲基醚丙二醇(PGME)或单甲基醚丙二醇衍生物与环己酮(ANONE)或环己酮衍生物成分的光阻清洗剂。具有下列特点：对光阻材料层具有良好的溶解度，适宜的挥发性，及优越的清洗能力和于不同光阻之间的良好兼容性；能于室温储存，成本低廉，且不需更换传统设备与生产条件；对人体具极低毒性，使用上具安全性，且无令人不愉快气味；不会对环境造成污染，且其废液及废水容易处理。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻清 洗剂 | ||
【主权项】：
1、一种光阻清洗剂，包含单甲基醚丙二醇与环己酮。
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