[发明专利]真空泵的趋势监控和诊断分析方法及其趋势监控和诊断分析系统以及包括执行该方法的计算机程序的计算可读存储介质

摘要

开发本发明(例如主动诊断算法)不仅实现早期检测失去功率的真空泵以防止泵故障，而且提供它们的预测维持。根据本发明，能够在泵在交替的空闲操作条件和气体加载操作条件下运行的情况下，找出处理由逐泵操作特性的大变化和多工艺条件引起的技术问题的简单且有效的方式，具体地讲，在半导体制造工艺中。

主权项

1、一种在交替的空闲操作条件和气体加载操作条件下运行的真空泵的故障保护和预报维护的趋势监控和诊断分析方法，包括步骤：对于空闲操作条件和气体加载操作条件，以预定比率对状态变量信号的时间序列采样；对于空闲操作条件和气体加载操作条件，从比波动状态变量信号分量的周期长的连续采样的信号的每一分段组挑选出状态变量的时间序列的最大值和最小值；对于空闲操作条件和气体加载操作条件，通过使用基于线性参数模型的主动诊断算法从挑选的每一状态变量的最大值估计一组渐进上限的最佳拟合的模型参数，并且从挑选的每一状态变量的最小值估计另一组的渐进下限的最佳拟合的模型参数；每当观察到从气体加载操作条件到空闲操作条件的过渡状态时，通过使用原位估计方法基于进气压力信号估计抽气速度指标；每当观察到从气体加载操作条件到空闲操作条件的过渡状态时，存储对于每一空闲操作条件和气体加载操作条件的所有考虑的状态变量的渐进上限和渐进下限的估计的上模型参数和下模型参数以及估计的抽气速度指标；重复对于空闲操作条件和气体加载操作条件的每一状态变量的上限和下限的模型参数的估计以及抽气速度指标的估计；和从为连续的空闲操作条件收集的所有考虑的状态变量的估计的上模型参数和下模型参数、以及从为连续气体加载操作条件收集的所有考虑的状态变量的估计的上模型参数和下模型参数、以及从气体加载操作状态到空闲状态的重复过渡连续收集的抽气速度指标监控变化趋势，并且基于其变化趋势分析结果诊断该真空泵异常与否。