[发明专利]故障保险气动致动阀无效
| 申请号： | 200480037708.9 | 申请日： | 2004-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1894526A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 奥弗·斯内 | 申请（专利权）人： | 松德沃技术公司 |
| 主分类号： | F16K7/17 | 分类号： | F16K7/17;F16K31/42;F16K31/00;F16K1/42 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于故障保险高速气动阀的装置和方法。故障保险可靠性通过一弹簧加载常闭气动致动器提供。当弹簧加载的气动致动器被加压时，常闭机构被致动至阀工作位置。同时，压力被直接施加，以将膜片或波纹管组件偏移返回至密封位置。具有标准圆顶形膜片的超高纯度实施例被公开。附加的高传导率膜片和波纹管的实施例被应用于较高传导率阀。创新的流体路径布置被公开。该阀可应用于快速气体和流体切换，且特别适用于高生产率原子层沉积(ALD)应用。附加的实施例涵盖改进的膜片和密封件可靠度、可外部调整的阀传导率、改进的阀安全性和高温阀密封件。 | ||
| 搜索关键词： | 故障 保险 气动 致动阀 | ||
【主权项】：
1.一种流体控制阀，包括；阀座(110)；通过该阀座的流动路径；膜片(108)；常闭气动致动器(118)；阀控制室(114)；气动供给管线(116)；以及导阀(144)；其中所述膜片被布置于所述阀座和所述阀控制室之间；所述常闭气动致动器被构造为通过偏移所述膜片通常关闭所述流动路径，以密封所述阀座；所述气动供给管线与所述常闭气动致动器流体连通；所述气动供给管线与所述导阀流体连通；以及所述导阀与所述阀控制室流体连通。
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