[发明专利]用于产生特别是EUV辐射和/或软X射线辐射的方法和设备有效
| 申请号： | 200480037540.1 | 申请日： | 2004-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101390453A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | G·H·德拉;R·T·A·阿佩茨;W·内夫;O·罗西尔;P·青克 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;陈景峻 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 描述了一种用于产生由等离子体(26)发射的特别是EUV辐射(12)和/或软X射线辐射(12a)的方法。等离子体(26)是由放电空间(14)中的工作气体(22)形成的，所述放电空间(14)包括至少一个辐射发射窗口(16)和具有至少一个阳极(18)和至少一个阴极(20)的电极系统。该电极系统借助于被引入到放电空间(14)中的电荷载体(24)而将电能传输给等离子体(26)。为了得到以高重复频率可靠地点燃等离子体(26)，建议将由至少一个辐射源(28)产生的辐射(30)引入到放电空间(14)中以便使得可获得放电载荷(24)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 特别是 euv 辐射 射线 方法 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种用于产生特别是EUV辐射(12)和/或软X射线辐射(12a)的方法，所述EUV辐射(12)和/或软X射线辐射(12a)是由在放电空间(14)中由工作气体(22)形成的等离子体(26)发射的，所述放电空间(14)至少包括一辐射发射窗口(16)和具有至少一个阳极(18)和至少一个阴极(20)的电极系统，该电极系统借助于被引入到放电空间(14)中的电荷载体(24)而将电能传输到等离子体(26)中，其特征在于，由至少一个辐射源(28)产生的至少一个辐射(30)被引入到放电空间(14)中以便使得可获得放电载荷(24)。
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