[发明专利]净化过氧水溶液的方法、可由此得到的溶液及其用途有效
| 申请号： | 200480028732.6 | 申请日： | 2004-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN1863731A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·欧文;于尔根·博塞;米夏埃尔·泽尔 | 申请（专利权）人： | 索尔维公司 |
| 主分类号： | C01B15/013 | 分类号： | C01B15/013 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾晋伟;刘继富 |
| 地址： | 比利时*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 净化过氧水溶液的方法，包括利用(a)至少一个膜净化步骤(3)、(b)任选的至少一个离子交换净化步骤(18)、(c)任选的至少一个稀释步骤和(d)至少一个其它净化步骤处理过氧水溶液，所有步骤可以按任意顺序进行操作。可以通过这种方法获得TOC水平少于1mg/kg的过氧水溶液。它们可以用于半导体制造。 | ||
| 搜索关键词： | 净化 过氧 水溶液 方法 由此 得到 溶液 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.净化过氧水溶液的方法，包括利用(a)至少一个膜净化步骤、(b)任选的至少一个离子交换净化步骤、(c)任选的至少一个稀释步骤和(d)至少一个其它净化步骤处理过氧水溶液，所有步骤可以按任意顺序进行操作。
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