[发明专利]真空装置无效
| 申请号： | 200480022767.9 | 申请日： | 2004-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1833145A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 迪尔克·席勒;霍尔格·迪茨;格哈德·W·瓦尔特 | 申请（专利权）人： | 莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F25B9/14 | 分类号： | F25B9/14;F25B41/04;F04B37/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范莉 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种真空装置，包括多个低温泵(10)，与一个或多个真空室连接。低温泵(10)经由介质供应管道(12)和介质回流管道(14)与压缩机(16)连接。调节装置(18)连接在至少一低温泵之前，以控制供给低温泵的介质量。此外，低温泵(10)包括温度测量装置。温度测量装置和调节装置(18)与控制器(28)连接。为使所需介质量供给低温泵(10)，按照本发明，调节装置(18)包括在介质供应管道(12)中的节流装置(24)和在节流旁通管道(22)中的控制阀。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空装置，包括：多个低温泵(10)，连接一个或多个真空室；压缩装置(16)，经由介质供应管道(12)和介质回流管道(14)与低温泵(10)连接；调节装置(18)，连接在至少一低温泵(10)之前，以控制供给低温泵(10)的介质量；温度测量装置，与低温泵(10)连接；和控制器(28)，与调节装置(18)及温度测量装置连接；其特征在于，调节装置(18)包括布置在相应的介质供应管道(12)内的节流装置(24)，以及布置在节流旁通管道(22)内的阀(26)。
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