[发明专利]光束的双焦点聚焦有效
| 申请号： | 200480020924.2 | 申请日： | 2004-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN1826206A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | V·克里希南;T·薄 | 申请（专利权）人： | XSIL技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/067 | 分类号： | B23K26/067 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 沙捷 |
| 地址： | 爱尔兰*** | 国省代码： | 爱尔兰;IE |
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| 摘要： | 片式偏振分束器22分离入射激光束21以形成第一激光束24和第二激光束25。使用弓形反射镜23对第一激光束进行光学修正以使第一激光束具有不同于第二激光束的发散或会聚特性。第一激光束24聚焦在位于聚焦透镜26的光轴上的第一焦点27处，并且第二激光束聚焦在位于该光轴上的第二焦点28处，以便对工件进行加工。该装置适于使用由检流计扫描器控制方向的激光束的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 焦点 聚焦 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其包括片式偏振分束器装置(22)、光束修正装置、聚焦装置(26)和检流计装置(44)，其中所述片式偏振分束器装置(22)用于分离入射偏振激光束(21)以形成第一激光束(24)和第二激光束(25)；所述光束修正装置包括弓形反射装置，用于使所述第一激光束具有不同于所述第二激光束的发散或会聚特性；所述聚焦装置(26)用于使所述第一激光束聚焦在位于所述聚焦装置光轴上的第一焦点(27)处，并使所述第二激光束聚焦在位于所述光轴上的第二焦点(28)处，以使所述第一焦点和所述第二焦点中的至少一个不在所述聚焦装置的焦点上；所述检流计装置(44)用于将所述第一激光束(24)和所述第二激光束(25)扫过整个工件(45)以便对所述工件进行加工。
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