[发明专利]气体回收装置、测试头及IC器件测试装置无效
| 申请号： | 200480018484.7 | 申请日： | 2004-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN1812826A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 西浦孝英 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00;G12B15/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种气体回收装置。其中的发热元件冷却罩(5)在通过覆盖装在基板(4)上的IC器件(44)在内部使冷却液流通，可以使冷却液与IC器件(44)接触。在发热元件冷却罩(5)中，从发热元件冷却罩(5)内部容易发生气体积存的气体积存部到流通的冷却液从气体积存部更靠下游的位置设置空气和冷却液可以通过的槽(54)(旁路)。若使用这样的发热元件冷却罩(5)，气体积存部的空气就可以通过旁路放出，可以有效地除去气体积存。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 回收 装置 测试 ic 器件 | ||
【主权项】：
1、一种气体回收装置，其具有使冷却液流动而与发热体接触，并收容所述冷却液的冷却液收容体，回收存在于所述冷却液收容体的内部空间中的气体，其特征在于，具有吸引存在于所述冷却液收容体的内部空间中的气体、向所述冷却液收容体的外部排出的气体回收机构。
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