[发明专利]感光性倍半氧硅烷树脂有效
| 申请号： | 200480015054.X | 申请日： | 2004-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1832982A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 胡三林;艾瑞克·史考特·穆耶;王盛;戴维·李·怀曼 | 申请（专利权）人： | 道康宁公司 |
| 主分类号： | C08G77/24 | 分类号： | C08G77/24;G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适合作为光阻剂的倍半氧硅烷树脂，其具有改良的微影特性(例如抗蚀刻性、透明性、分辨率、感光度、焦距范围、线边缘粗糙度和粘附力)；涉及一种用于将氟化或非氟化官能团结合于倍半氧硅烷主链上的方法。本发明的倍半氧硅烷树脂具有通式结构(HSiO3/2)a(RSiO3/2)b，其中：R是酸可解离基团，a值为0.2至0.9且b值为0.1至0.8并且0.9≤a+b≤1.0。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 倍半氧 硅烷 树脂 | ||
【主权项】：
1.一种倍半氧硅烷树脂，其包括HSiO3/2单元和RSiO3/2单元，其中R为具有下式的酸可解离基团：![]()
其中每个R3独立地为连接基团；R4为第二连接基团；L选自由下列组成的群组：具有1至10个碳原子的直链或支链亚烷基、具有2至20个碳原子的氟代亚烷基、经取代和未经取代的亚芳基、经取代和未经取代的亚环烷基及经取代和未经取代的亚烷芳基；R5是氢、直链或支链烷基或氟代烷基；R6是烷基或氟代烷基；Z是酸可离解基团；且g值可为0或1且h值可为所述的0或1；且k值可为所述的0或1。
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