[发明专利]热电器件的制造方法和通过该方法得到的热电器件

摘要

本发明涉及热电器件(10)尤其是热电发电机(10)的制造方法，该热电器件(10)包括其上形成两组(2、3)串联连接的带状部分(2A、3A)的挠性箔(1)，其中两组部分(2A、3A)所选择的材料是具有不同热电系数的材料，以图案(100)形成所述两组部分，以至于一组(2)的一部分(2A)和另一组(3)的另一部分(3A)之间的连接(4)交替位于箔(1)的两个隔开的区域(G1、G2)中，并且在基板(5)上形成部分(2A、3A)之后，将箔(1)附着到带状部分(2A、3A)，此后去除基板(5)。根据本发明，基板(5)使用刚性(＝相对厚的)基板(5)，并且在去除基板(5)之前，将刚性(＝相对厚的)载体板(6)附着到箔(1)上，在去除刚性基板(5)之后，从箔(1)再次去除刚性载体板。这样，该方法尤其适于可以通过化学机械抛光快速去除的半导体基板(5)的使用。优选地，在使用之前折叠或者卷绕具有器件(10)的箔(1)。

主权项

1、一种制造热电器件(10)的方法，该热电器件(10)包括挠性箔(1)，其上设置两组(2、3)串联连接的、带状部分(2A、3A)，其中两组部分(2A、3A)所选择的材料具有不同的热电系数，对所述组的部分进行构图，使得一组(2)的部分(2A)和另一组(3)的另一部分(3A)之间的连接(4)每次交替位于彼此离开一定距离的所述箔(1)的两个区域(G1、G2)之一中，并且其中在基板(5)上设置所述带状部分(2A、3A)之后，在所述带状部分(2A、3A)上设置所述箔(1)，此后去除所述基板(5)，该方法的特征在于，所述基板(5)使用刚性基板(5)，并且在去除所述刚性基板(5)之前，将刚性载体板(6)附着到所述箔(1)上，在去除所述刚性基板(5)之后，再从所述挠性箔(1)去除该刚性载体板。