[发明专利]使用振荡装置的电势测量装置,成像设备以及电势测量方法无效
| 申请号： | 200480008573.3 | 申请日： | 2004-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1768272A | 公开（公告）日： | 2006-05-03 |
| 发明（设计）人： | 市村好克;岛田康弘;沟口安志;财津义贵 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01R29/24 | 分类号： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种有利于减小尺寸以及获得高灵敏度和高可靠性的电势测量装置。该电势测量装置包括：振荡装置(104)，该振荡装置包括扭转弹簧(103、102)和振荡体，该振荡体由扭转弹簧轴向支承；以及信号检测单元(111、112)，该信号检测单元位于振荡体的表面上。通过由振荡装置改变在检测电极和电势测量物体表面之间的距离而改变在检测电极和电势测量物体表面之间的电容，从而检测在检测电极上出现的输出信号。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 振荡 装置 电势 测量 成像 设备 以及 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种电势测量装置，包括：振荡装置，该振荡装置包括扭转弹簧和振荡体，该振荡体由该扭转弹簧轴向支承，这样，该振荡体绕该扭转弹簧振荡；以及信号检测装置，该信号检测装置位于振荡体的表面上，并包括至少一个检测电极，其中，通过由振荡装置改变在检测电极和布置成对着检测电极的电势测量物体的表面之间的距离以便改变在检测电极和电势测量物体表面之间的电容，从而检测在检测电极上出现的输出信号。
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