[发明专利]降低三氟化氮中二氟化二氮与四氟化二氮浓度的加热方法无效
申请号: | 200480007748.9 | 申请日: | 2004-03-25 |
公开(公告)号: | CN1761615A | 公开(公告)日: | 2006-04-19 |
发明(设计)人: | B·A·马勒;M·J·纳帕 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
主分类号: | C01B21/083 | 分类号: | C01B21/083;B01J19/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 段晓玲 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 通过内壁选自电抛光金属、陶瓷氧化铝或蓝宝石的容器中加热气相三氟化氮和不期望的二氟化二氮与二氟化四氮杂质的混合物,回收这种杂质浓度降低的三氟化氮产品来降低混合物中这些不期望杂质的浓度。该方法在约150℃至约300℃下进行,优选所述容器不装填料,并且在进行加热步骤的容器区域内容器的内表面积与容器体积的比率最小。任选所述方法还包括将容器的内壁与含氟气的钝化组合物接触的步骤。 | ||
搜索关键词: | 降低 氟化 氮中二 浓度 加热 方法 | ||
【主权项】:
1.一种降低三氟化氮和至少一种选自二氟化二氮与四氟化二氮杂质的混合物中的所述至少一种杂质的浓度的方法,所述方法包括:在至少约150℃下在内壁为选自电抛光金属、陶瓷氧化铝和蓝宝石的容器中加热所述气相混合物,和回收所述至少一种杂质浓度降低的三氟化氮产品。
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