[发明专利]带有窗口的抛光垫片无效
| 申请号： | 200480005566.8 | 申请日： | 2004-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1756623A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | R·G·斯威舍;A·E·王;W·C·阿里森 | 申请（专利权）人： | PPG工业俄亥俄公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/14;B24D18/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 龙传红 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及抛光垫片。尤其，本发明的抛光垫片能够包括窗口区域。该窗口区域能够通过使用就地浇铸方法在垫片中形成。本发明的抛光垫片能够用于抛光制品和能够尤其用于微电子设备如半导体晶片的化学机械抛光或平面化。本发明的抛光垫片的窗口区域能够特别可用于抛光或平面化一些工具，它们用贯穿平台晶片计量来装配。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 窗口 抛光 垫片 | ||
【主权项】：
1.包括就地浇铸的至少部分透明的窗口的抛光垫片，该窗口具有0℃到低于125℃的固化温度。
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