[实用新型]用于离子源重金属离子引出的坩埚蒸发器无效
| 申请号： | 200420120109.0 | 申请日： | 2004-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN2787677Y | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 戴习毛 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于离子源重金属离子引出的坩埚蒸发器包括：支撑座、加热灯、温度传感器、石墨坩埚、送气杆、支撑板。支撑座固定支撑加热灯、温度传感器、石墨坩埚及支撑板；加热灯为石英碘钨灯；温度传感器为热电偶；石墨坩埚为石墨材料，内装固体蒸发原料；送气管将石墨坩埚的固体原料蒸发成气体，通过送气管进入离子源放电室。本实用新型具有减少温度上升和降低时间；有效减少石墨坩埚温度余热效应；减少原料污染，提高离子纯度等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子源 重金属 离子 引出 坩埚 蒸发器 | ||
【主权项】：
1、一种用于离子源重金属离子引出的坩埚蒸发器包括：支撑座、加热灯、温度传感器、石墨坩埚、送气杆、支撑板，其特征在于：所述的支撑座固定支撑加热灯、温度传感器、石墨坩埚及支撑板；所述的石墨坩埚为石墨材料，内装固体蒸发原料；所述的支撑板固定支撑加热灯、温度传感器和石墨坩埚。
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