[实用新型]帕尔帖热循环微纳米压印装置

摘要

本实用新型公开了一种帕尔帖热循环微纳米压印装置。在工作台上装有真空罩，真空罩上部装有一端伸入真空罩内、另一端在外能作轴向移动的连接块，伸出真空罩外的连接块与真空罩间装有弹簧，连接块上端面与液压活塞端相连，装在真空罩内的上加热板经隔热陶瓷与连接块下端面相连，下加热板经隔热陶瓷与工作台固连；上、下加热板均为不锈钢内、外板双层结构，外板内开有网状冷却流道并有流道接口与外部连接，两层间内板内表面嵌有四片对称分布的方形半导体热电致冷器及在一径向线两侧的致冷器间装有温度传感器。采用基于帕尔帖热循环原理的致冷器，加热与冷却的时间缩短，有利于提高生产效率；温度的变化曲线更加平缓，便于精确控制温度和提高成品的质量。

主权项

1.一种帕尔帖热循环微纳米压印装置，其特征在于：1)在工作台(11)上装有真空罩(5)，真空罩(5)上部装有一端伸入真空罩(5)内、另一端在真空罩(5)外能作轴向移动的连接块(3)，伸出真空罩(5)外的连接块(3)一端的内肩面与真空罩(5)上端面间装有弹簧(4)，连接块(3)上端面与液压活塞(2)活动端相连，液压活塞(2)另一端装在支撑架(1)的横梁上，支撑架(1)与工作台(1 1)固连，装在真空罩(5)内的上加热板(7)经一隔热陶瓷(13)与连接块(3)下端面相连，上加热板(7)的外板(16)上部装有冷却管(6)，冷却管(6)穿过真空罩(5)与外部连接，装在真空罩(5)内的下加热板(9)经另一隔热陶瓷(10)与工作台(11)固连，下加热板(9)的外板(16)下部装有冷却管(12)，冷却管(12)穿过工作台(11)与外部连接；2)上加热板(7)、下加热板(9)分别为不锈钢内板(15)、外板(16)双层结构，外板(16)内开有网状冷却流道(17)并有流道接口(18)与外部连接，在内板(15)内表面嵌有四片对称分布的方形半导体热电致冷器(8)及在一径向线两侧的两个方形半导体热电致冷器(8)间装有PT100热电偶温度传感器(14)，上、下加热板结构相同只是装配方向相反。