[实用新型]用于场发射装置的阴极喷涂屏蔽

摘要

本实用新型公开了一种用于场发射装置的阴极喷涂屏蔽，对于一般场发射显示或光源的构造提供一阴极喷涂屏蔽，以方便施行阴极喷涂制程，该阴极喷涂屏蔽包括有片状基材，具有外侧面及内侧面，且该外侧面于喷涂时面对喷涂源，且该内侧面于喷涂时面对阴极基板，其是以外窄内宽的孔槽技术施行于极喷涂屏蔽，于使用喷涂方法涂布阴极纳米碳管层时得到精确且质量优良的效果，据此：一、可提供一精度良好，能防止喷涂毛边的较佳构造；二、易于省去后续加工；三、不影响现有制程设备而实时可用。

主权项

1、一种用于场发射装置的阴极喷涂屏蔽，其特征在于包括有：具有外侧面及内侧面的片状基材，并且该外侧面于喷涂时面对喷涂源，且该内侧面于喷涂时面对阴极基板；其中该片状基材具有一预定范围的厚度；其中该片状基材具有数个孔槽，该孔糟的外侧面宽度为孔槽外径，该孔槽的内侧面宽度为孔槽内径；其中该孔槽外径小于该孔槽内径。