[实用新型]高真空机组无效
| 申请号： | 200420070562.5 | 申请日： | 2004-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN2725567Y | 公开（公告）日： | 2005-09-14 |
| 发明（设计）人： | 刘贺涛;王光毅;刘同枝 | 申请（专利权）人： | 沈阳三之环真空设备有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04C25/02 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所 | 代理人： | 宋铁军 |
| 地址： | 110036辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型为高真空机组，涉及一种以油扩散泵为主泵的、使被抽空器件获得高真空的设备，与有关附件构成可进行真空蒸镀和溅射、真空热处理、真空烧结和扩散，还可应用在实验室及其它工业生产中。其特征是在高真空阀体上设有线圈，线圈内设有芯杆；手轮上设有销孔，芯杆的一端插接在手轮的销孔内；线圈通过导线与控制箱中的继电器连接。预抽阀和前置阀的拉杆连在一起形成联动的拉阀。在高真空阀体与拉阀的管路上设有电离真空规，在拉阀与放气阀的管路上设有预抽热偶真空规，在拉阀与真空缸的管路上设有前置热偶真空规。本实用新型的目的在于解决被抽真空器件漏气时机组不能工作，必须拆卸、进行清洗、更换扩散泵的工作介质等方面存在的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空机组 | ||
【主权项】：
1、一种高真空机组，它包括有机械泵(1)，与其通过管路相连的电磁阀(12)、碟阀(10)、预抽阀和前置阀、放气阀(8)、真空缸(2)、高真空阀体(5)及水冷挡板(4)和油扩散泵(3)，其特征在于：在高真空阀体(5)上设有线圈(15)，在线圈(15)内设有芯杆(16)；手轮(17)上设有销孔，芯杆(16)的一端能够插接在手轮(17)的销孔内；线圈(15)通过导线与控制箱(13)中的继电器连接。
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