[实用新型]一种等离子体材料处理设备无效
| 申请号： | 200420066560.9 | 申请日： | 2004-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN2718948Y | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | 陈光良;杨思泽;张谷令;王久丽;刘元富;冯文然;刘赤子 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H05H1/42 | 分类号： | H05H1/42;B01J8/24;B01J19/08 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种等离子体材料处理设备，包括：用绝缘材料制作的床体，其床体下端口设置一气体分配器，和在气体分配器下面安装一漏斗形进气口，进气口通过带气体流量计的管道与气源相连；床体上部的侧壁上开有气体出口，在床体的气体出口的位置之上开孔，该孔安装一根带阀的进料管，其进料管连通一进料斗；在床体的气体出口以下至气体分配器一段外壁上设置一外电极，外电极与高压交流电源的一极电连接；内电极插入床体内，并通过一绝缘板密封固定在床体上端口，露出床体上端口的内电极与高压交流电源的另一极电连接。本实用新型可在常温大气压下运行不需要真空设备，运行成本低。不会损害粉末材料，可适用的改性材料范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 材料 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体材料处理设备，包括：一床体(13)，其床体(13)下端口设置一气体分配器(6)，和在气体分配器(6)下面安装一漏斗形进气口(14)，进气口(14)通过带气体流量计(16)的管道(15)与气源(1)相连；床体(13)上部的侧壁上开有气体出口(12)，其特征在于：还包括在床体的气体出口(12)的位置之上开孔，该孔安装一根带阀的管道，其管道连通一进料斗(3)；在床体的气体出口(12)以下至气体分配器(6)一段外壁上设置一外电极(2)，外电极(2)与高压交流电源(9)的一极电连接；内电极(8)插入床体内，并通过一绝缘板(5)密封固定在床体上端口，露出床体上端口的内电极(8)与高压交流电源(9)的另一极电连接；所述的床体(13)用绝缘材料制作的。
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