[实用新型]盘片真空贴合装置

摘要

本实用新型是有关于一种盘片真空贴合装置，包含有：一基座；一转盘，设于该基座上，该转盘上环设多数承片组件，用以承接待贴合的光盘；各该承片组件由一活动块、一承接盘、一分隔治具、一第一弹性件、以及至少一第二弹性件所组成；一真空密封装置设于该基座上且对应位于一承接盘的上方；由驱转该转盘来变换成品及半成品光盘，并由该真空密封装置来进行真空压合的动作。

主权项

1.一种盘片真空贴合装置，其特征在于，包含有：一基座：一转盘，设于该基座上，受驱动而旋转，该转盘上环设多数承片组件；各该承片组件由一活动块、一承接盘、一分隔治具、一第一弹性件、以及至少一第二弹性件所组成、其中，该活动块以可上下活动的方式设置于该转盘，该承接盘设于该活动块顶端且位于该转盘上方，至少一支脚自该承接盘向下延伸并穿出该转盘，且各该支脚底端具有一抵板，该第二弹性件以其两端分别抵接于该抵板以及该转盘，以保持该承接盘及该活动块向下位移，该分隔治具设于该活动块内且顶端伸出一预定长度，该分隔治具内部具有一操作杆，该操作杆底端伸出该活动块底部且形成一C形钩，受推顶而上下位移，产生分隔/不分隔盘片的动作，该第一弹性件以其两端分别抵于该操作杆以及该活动块底部，保持该操作杆向上位移；多数驱动缸组，分别设置于该基座，位于各该承片组件下方，各该驱动缸组具有至少一推缸以及一拉缸，该推缸对应于该活动块底部，推顶该活动块向上位移，该拉缸对应于该C形钩，将该C形钩连同该操作杆向下拉动；一真空密封装置，具有一直立柱设于该基座，该直立柱上具有一Z轴滑组可沿该直立柱上下位移，一罩壳以及一盖合驱动器设于该Z轴滑组，该罩壳形状对应于各该承接盘且位于一承接盘的上方，受该盖合驱动器的驱动而可盖置于一承接盘上，并可与该承接盘之间形成密封状态，该罩壳具有一抽风口连通于内，以抽真空，该罩壳内部具有一压盘，该压盘以一连接杆穿通该罩壳连接于该Z轴滑组，随该Z轴滑组位移，用以压制盘片使其贴实。