[实用新型]阴极射线管荧光面电子显微测量仪无效
申请号: | 200420041404.7 | 申请日: | 2004-01-05 |
公开(公告)号: | CN2669183Y | 公开(公告)日: | 2005-01-05 |
发明(设计)人: | 焦宗平 | 申请(专利权)人: | 彩虹集团电子股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/29 | 分类号: | G01N21/29 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人: | 陈翠兰 |
地址: | 71202*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种阴极射线管荧光面电子显微测量仪,包括放大透镜、分化板、CCD摄像机,被测物将光射入放大透镜,放大透镜的出射光射入分化板,通过分化板的光射入放大透镜,放大透镜的出射光射入到摄像机的靶面上,分化板是带有刻度的平面镜。从而将人眼从光学镜头上解放出来,目视误差影响降到最低,操作相对便携式显微镜测量简单,提高了测试荧光面结构精度和进度。 | ||
搜索关键词: | 阴极射线管 荧光 电子 显微 测量仪 | ||
【主权项】:
1、阴极射线管荧光面电子显微测量仪,包括放大透镜、与放大透镜同轴的分化板(3)和电荷耦合器件摄像机(5),其特征在于:被测物(1)将光射入第一组放大透镜(2),第一组放大透镜(2)的出射光射入分化板(3),通过分化板(3)的光射入第二组放大透镜(4),第二组放大透镜(4)的出射光射入到电荷耦合器件摄像机(5)的靶面上。
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