[实用新型]自适应多形变量程模式压电陶瓷扫描器

摘要

本实用新型包括若干个分别控制X、Y、Z方向扫描的压电陶瓷扫描器，给压电陶瓷扫描器的每个导电层施加不同的驱动电压，使压电陶瓷扫描器具有多个模式的最大形变量程；将每一组压电陶瓷导电层对应于不同扫描量程等效驱动电压的形变量的非线性函数，以及相关参数存储于EPROM中，系统调用相应的扫描量程状态的非线性函数，对X、Y、Z方向的扫描进行非线性校正，本实用新型的优点是同一个压电陶瓷扫描器可以具有多个不同的最大形变量程扫描模式，并且无论将该扫描器配置到任何一台扫描探针显微镜上，都无需重新进行非线性校正，具有自适应功能，使用非常方便。

主权项

1.一种自适应多形变量程模式压电陶瓷扫描器，其特征在于：在一个压电陶瓷对应的正反两面壁上，涂上若干区域的导电层，各区域的导电层相互间是绝缘的，将若干导电层分为若干组，一组产生X方向的形变，另一组产生Y方向的形变，在另一个压电陶瓷的正面，涂上二个相互绝缘的导电层，在其反面全部涂上一个导电层，产生第三组的Z方向形变，所有导电层用导线引出，施加驱动电压，产生扫描量程需要的形变量，并用扫描量程状态信号线产生二进制代码，表示每一组压电陶瓷导电层不同的形变量程模式，将每一组压电陶瓷导电层对应于不同扫描量程等效驱动电压的形变量的非线性函数，以及相关参数存储于EPROM中。