[发明专利]一种微/纳米级结构的加工装置

摘要

一种微/纳米级结构的加工装置，包括：由透明耐化学腐蚀材料制做的箱体，其内底面上放有带三维移动导轨的加工操作平台；平台上放置温度控制元件；箱体内放置由电、磁和光场控制器控制的可产生电场的金属板式电极、可产生磁场的永磁体/电磁体阵列和由可移动的半导体激光器构成的激光光源和与外置气源相通的气泡发生器；自带电源的控制电路分别与温度控制元件，电、磁和光场控制器和气泡发生器电相连。本装置借助表面活性剂生成或直接产生的气泡，利用其薄液膜的微/纳米级厚度，运用具有二元或多元成分的薄液膜融合过程中发生在微尺度下的化学反应，单独或同时利用反应过程及其生成物，在各种基底表面进行加工，以制造出特定的微/纳米级结构。

主权项

1、一种微/纳米级结构的加工装置，其特征在于，包括：一带有透明顶盖(8)的由透明耐化学腐蚀材料制做的箱体(2)，放置在所述箱体(2)内底面上的带有三维移动导轨(16)的加工操作平台(20)；所述加工操作平台(20)上表面上放置有温度控制元件(14)；放置在箱体(2)之内的由电、磁和光场控制器(19)控制的可产生电场的金属板式电极、可产生磁场的永磁体/电磁体阵列和由可移动的半导体激光器构成的激光光源；放置在箱体(2)之内的气泡发生器(9)；一自带电源的控制电路(7)；所述控制电路(7)分别与温度控制元件(14)，电、磁和光场控制器(19)和气泡发生器(9)电相连；所述气泡发生器(9)与外置气源(17)相连通；移动导轨(16)为通过平面运动调节旋钮(5)和垂向运动调节旋钮(18)进行三维调节的三维移动导轨。