[发明专利]用激光在光敏性材料中制有多重周期微结构的方法及系统无效
| 申请号： | 200410103541.3 | 申请日： | 2004-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1796039A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 段宣明;董贤子 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K26/06;B23K26/067 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光在光敏性材料中加工多重周期性微结构系统和方法。在激光器输出光路上依次设置分光束装置、汇聚光束装置和样品台；激光器1产生的激光经分光束装置分成N束相干光后到达汇聚光束装置，调节由计算机操纵的三维微移动系统使这些相干光束在汇聚光束装置的后面相交，实现在时间和空间上的相干，形成多重周期结构的干涉条纹作用于放置在样品台的光敏性材料上，通过曝光在光敏性材料中获得多重周期性微结构。该系统结构简单、易于实现工业化；本发明的方法制备工艺简单、时间短、效率高，以及该方法可实现对周期大小和结构花样任意调节，重复性好。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 光敏 材料 中制有 多重 周期 微结构 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用激光在光敏性材料中制有多重周期微结构的系统，包括激光器(1)、分光束装置(2)、其特征在于：还包括计算机操纵的三维微移动系统(5)，和在该系统上安置的汇聚光束装置(3)和样品台(4)、其中在激光器(1)输出光路上依次设置分光束装置(2)、汇聚光束装置(3)和样品台(4)；激光器(1)产生的激光经分光束装置(2)分成N束相干光后到达汇聚光束装置(3)，调节由计算机操纵的三维微移动系统(5)使这些相干光束在汇聚光束装置(3)的后面相交，实现在时间和空间上的相干，形成多重周期结构的干涉条纹作用于放置在样品台(4)的光敏性材料上。
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