[发明专利]图案形成装置和使用其制造连续图案的方法有效
| 申请号： | 200410102292.6 | 申请日： | 2004-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN1637617A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 朴锡澔;崔永俊;吴铉锡;林在夏;郑皙元 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社;韩国电子部品研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李家麟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种其上应用了感光剂的柔性基板连续地从供应单元提供给引导单元，从光源将光照射到基板的一部分上。掩模设置于基板和光源之间，从而来自光源的光选择性地使基板的一部分经受曝光。因此，可以形成用于大面积显示板的具有连续倾斜结构的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 装置 使用 制造 连续 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成装置，其特征在于，包括：引导单元，它用于连续地引导其上应用了感光剂的柔性基板，光源，用于将光束照射到已应用于所述基板上的感光剂的一部分上，以及掩模，位于由所述引导单元引导的所述基板和所述光源之间，从而选择性地将光束传送到感光剂。
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