[发明专利]可降低振动膜应力的硅晶凝缩式麦克风结构无效
申请号: | 200410100283.3 | 申请日: | 2004-12-10 |
公开(公告)号: | CN1787693A | 公开(公告)日: | 2006-06-14 |
发明(设计)人: | 郑权贤;薛树远;龚诗钦;何鸿钧;魏文杰 | 申请(专利权)人: | 美律实业股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;G01L9/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明为一种可降低振动膜应力的硅晶凝缩式麦克风结构,是以一种悬浮结构支撑振动膜,释放硅晶凝缩式麦克风的振动膜应力,以缩小振动膜面积,以因应小尺寸与薄型化的需求,同时增加对声音的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 降低 振动 应力 凝缩 麦克风 结构 | ||
【主权项】:
1.一种可降低振动膜应力的硅晶凝缩式麦克风结构,其包含有一基板、一振动膜与一背板,其特征在于:该振动膜与该背板之间设有一连结结构,且该振动膜相对该连结结构的外缘是设为一可产生形变的支撑结构,并使该振动膜相对于该基板呈现悬浮状态。
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