[发明专利]多层膜结构的薄膜气体吸收元件及其制造和使用方法

摘要

一种多层膜结构的薄膜气体吸收元件及其制造方法和使用方法。该气体吸收元件，是在陶瓷支撑体上沉积一层气体吸收层，在气体吸收层上覆盖一层催化层，陶瓷支撑体内部含有加热层，气体吸收层的组成包括有Ti、Zr、V、La、Y、Ce、Nd、Nb、Hf和Fe中的至少两种材料，催化层为催化金属的合金薄膜，其含有Pd，和Ag、Ni、Cr、Cu和Al中的至少一种，以及La、Y、Ce和Nb中的一种稀土元素或它们的混合物，其中，La、Y可以是单质或是其氧化物。陶瓷支撑体为烧结后陶瓷多孔支撑体，其比表面积大于1m²/g。催化层的上面设有多孔气体透过网，在该吸收元件的外周设有封装外壳。采用烧结方法制备陶瓷多孔支撑体；采用共蒸发方法沉积形成气体吸收层薄膜；采用共溅射沉积法使气体吸收层薄膜上覆盖催化层合金薄膜。该气体吸收元件能够在低温激活，是性能稳定的微型吸气剂元件。

主权项

1、一种多层膜结构的薄膜气体吸收元件，其特征在于：是在陶瓷支撑体上沉积一层气体吸收层，在气体吸收层上覆盖一层催化层，陶瓷支撑体内部含有加热层，所述的气体吸收层的组成包括有Ti、Zr、V、La、Y、Ce、Nd、Nb、Hf和Fe中的至少两种材料，所述的催化层为催化金属的合金薄膜，其含有Pd，和Ag、Ni、Cr、Cu和Al中的至少一种，以及La、Y、Ce和Nb中的一种稀土元素或它们的混合物，其中，La、Y可以是单质或是其氧化物。