[发明专利]一种多路显影液控制系统无效
| 申请号： | 200410084516.5 | 申请日： | 2004-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1779574A | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;谢华;孙珉;徐哲峰 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘清富 |
| 地址： | 201206*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明有关一种多路显影液控制系统，用于对曝光后的硅片进行显影，包括PLC电路，其上连接有输入端口及输出端口，其中输入端口与上位主机及传感器相连，而输出端口与伺服机构及多个外接继电器接口相连，每一个外接继电器接口与显影液供给系统相连，且PLC内对应每一个显影液供给系统设置一组地址。由于PLC可以同时供应多路显影液，所以可以提高设备利用率，提高控制系统对多路显影液的处理能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种多路显影液控制系统，用于对曝光后的硅片进行显影，包括PLC电路，其上连接有输入端口及输出端口，其中输入端口与上位主机及传感器相连，其特征在于：输出端口与伺服机构及多个外接继电器接口相连，每一个外接继电器接口与显影液供给系统相连，且PLC内对应每一个显影液供给系统设置一组地址。
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