[发明专利]确定光学元件法线的方法无效
| 申请号： | 200410084255.7 | 申请日： | 2004-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN1609653A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 高鸿奕;陈建文;干慧箐;朱化凤;李儒新;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B9/02;G01M11/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种在大型光学系统中确定光学元件法线的方法，包括以下步骤：1)在光学系统待测光学元件光路中设置马赫－曾德尔干涉仪的第一臂，即第一平板和第二平板设置在待测光学元件的前和后，在马赫－曾德尔干涉仪的第四臂外延线上和第四平板之外侧设置扩束望远镜和He －Ne激光器，在马赫－曾德尔干涉仪的第二臂的外延线上和第二平板之外侧设置观察屏；2)尚未放置待测光学元件时，开启He－Ne激光器，调整马赫－曾德尔干涉仪，使观察屏上的干涉条纹达到零级；3)在光学系统的光路中插入待测光学元件；4)调整待测光学元件的位置，从观察屏上观察干涉条纹图形不动时，则该光学元件的法线与光轴平行。本发明方法简单且很有效，同轴精度可达到1/10～1/20波长。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 光学 元件 法线 方法 | ||
【主权项】：
1、一种在大型光学系统中确定光学元件法线的方法，其特征在于包括以下步骤：1)在光学系统待测光学元件(3)光路中设置马赫—曾德尔干涉仪的第一臂，即第一平板(5)和第二平板(6)设置在待测光学元件(3)的前和后，在马赫—曾德尔干涉仪的第四臂外延线上和第四平板(7)之外侧设置扩束望远镜(10)和He—Ne激光器(11)，在马赫—曾德尔干涉仪的第二臂的外延线上和第二平板(6)之外侧设置观察屏(9)；2)尚未放置待测光学元件(3)时，开启He—Ne激光器(11)，调整马赫—曾德尔干涉仪，使观察屏(9)上的干涉条纹达到零级；3)在光学系统的光路中插入待测光学元件(3)；4)调整待测光学元件(3)的位置，从观察屏(9)上观察干涉条纹图形不动时，则该光学元件(3)的法线与光轴平行。
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