[发明专利]除尘装置、蒸镀机台及以其进行清洁遮罩的方法有效
| 申请号： | 200410083937.6 | 申请日： | 2004-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN1600454A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 柯崇文 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B7/02;B08B5/00;C03C21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐乐慧 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种除尘装置、蒸镀机台及以其进行清洁遮罩的方法，其中蒸镀机台包括一蒸镀室，一超音波清洁室以及至少一传输装置。蒸镀室内利用至少一遮罩对一基板进行蒸镀作业。传输装置用于在蒸镀室及超音波清洁室之间传递遮罩。超音波清洁室内，设有一除尘装置，该除尘装置包括一超音波产生器、一气流吹出器以及一吸尘器。清洁遮罩的方法是利用传输装置将遮罩由蒸镀室取出，送入超音波清洁室中，藉由除尘装置中的超音波产生器产生震波震动遮罩表面的微粒并使微粒易于松动，且由气流吹出器吹出气流将遮罩表面的微粒扬起，并以吸尘器将所扬起的微粒吸除。在遮罩清洁完成后，由传输装置将遮罩送至蒸镀室内进行蒸镀作业。 | ||
| 搜索关键词： | 除尘 装置 机台 以其 进行 清洁 方法 | ||
【主权项】：
1.一种除尘装置，适用于一蒸镀机台中，包括：一超音波产生器；一气流吹出器；以及一吸尘器；其中超音波产生器产生震波将对象表面的微粒震动并使该微粒松动，同时气流吹出器吹出气流将该微粒扬起，并由吸尘器将该微粒吸除。
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