[发明专利]测试半导体器件的装置和方法无效
| 申请号： | 200410069841.4 | 申请日： | 2004-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1576871A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 李铢赞;宣龙均;金贤镐;李丙天;李俊昊;李钟哲;柳济亨;金兑圭;任洵圭 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种测试半导体器件的装置和方法，该装置包括一主体和一用于在测试前和后层叠器件的层叠器。所述层叠器包括至少一个被预设为具有层叠未被测试器件的功能的用户托盘进料器和至少一个被预设为具有层叠已测试器件的功能的用户托盘发送器，所述用户托盘在层叠器操作期间功能可以互换。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 半导体器件 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件测试装置，包括：一主体；一均热室；一测试室；一退均热室；其中所述均热室、所述测试室和所述退均热室可以与所述主体分离。
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