[发明专利]台式涂敷机用工作台装置无效
| 申请号： | 200410069688.5 | 申请日： | 2004-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN1575864A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 中森靖仁;镒广诚 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/00;B23Q5/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过降低滑动件部分的重心来使俯仰振动难以发生的工作台装置。本台式涂敷机用工作台装置包括：可以沿搭载被处理基板的基板台(100)的表面沿Y轴方向移动的第1滑动件和组装到第1滑动件上能够与第1滑动件一起沿Y轴的方向移动的、用来沿上下方向驱动喷嘴(140)的第2滑动件。第1滑动件由2个线性电动机构成的Y轴驱动机构(120A、120B)构成，该Y轴驱动机构能够沿设置在与基板台的两侧相对应的位置上、互相平行延伸的2根导轨(110A、110B)移动；第2滑动件由组装到2个Y轴驱动机构中的2个滑动楔块机构(10)构成。在这2个滑动楔块机构中的上下移动块(11)之间架设有喷嘴。 | ||
| 搜索关键词： | 台式 涂敷机 用工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种台式涂敷机用工作台装置，包括可以沿搭载有被处理基板的基板台面向一轴方向移动的第1滑动件和以能够与该第1滑动件一起沿上述一轴方向移动的方式被组装到第1滑动件上、用来沿上下方向驱动喷嘴部的第2滑动件，其特征在于，用滑动楔块机构来构成上述第2滑动件中的驱动机构。
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