[发明专利]压电体元件、喷墨记录头和压电体元件的制造方法有效
申请号: | 200410068616.9 | 申请日: | 2004-09-03 |
公开(公告)号: | CN1590102A | 公开(公告)日: | 2005-03-09 |
发明(设计)人: | 久保田纯;小林本和;襟立信二;铃木久男;内田文生;清水千惠美;前田宪二 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社;富士化学株式会社 |
主分类号: | B41J2/045 | 分类号: | B41J2/045;H01L41/22 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 岳耀锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种压电体元件、喷墨记录头和压电体元件的制造方法。该压电体元件,由振动板、下部电极、压电体膜和上部电极依次层叠而成,其特征在于:上述下部电极、上述上部电极和上述压电体膜由钙钛矿型氧化物构成,上述振动板由金属氧化物构成,在上述振动板和上述下部电极之间、上述下部电极和上述压电体膜之间、及上述压电体膜和上述上部电极之间实质上不存在接合界面。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 喷墨 记录 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种压电体元件,由振动板、下部电极、压电体膜和上部电极依次层叠而成,其特征在于:上述下部电极、上述上部电极和上述压电体膜由钙钛矿型氧化物构成,上述振动板由金属氧化物构成,在上述振动板和上述下部电极之间、上述下部电极和上述压电体膜之间、及上述压电体膜和上述上部电极之间实质上不存在接合界面。
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