[发明专利]用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁有效
申请号: | 200410066491.6 | 申请日: | 2004-09-17 |
公开(公告)号: | CN1587024A | 公开(公告)日: | 2005-03-02 |
发明(设计)人: | 李昕欣;韩建强;鲍敏杭;杨恒;沈绍群;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81C5/00;G12B21/08 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种利用掩膜-无掩膜腐蚀技术实现AFM悬臂梁和探针一次成型的制作方法。其特征在于在腐蚀过程中,探针采用有掩膜腐蚀技术腐蚀,而梁采用无掩膜腐蚀技术腐蚀,当探针针尖的直径达到预定值时,梁的厚度达到设定值。本发明所涉及的各向异性湿法腐蚀工艺一次成型AFM探针和悬臂梁的制作方法具有以下优点。(1)制作工艺简单:仅采用了常规的光刻工艺和湿法各向异性腐蚀工艺,对工艺设备要求较低、简便易行,降低了产品成本,提高了成品率;(2)采用SOI硅片的顶层硅的下表面作为光反射面,与重掺杂自停止腐蚀形成的表面相比更平整,光反射率高;(3)以二氧化硅埋层为腐蚀自停止层,与重掺杂自停止方法相比,对梁厚度的控制更为精确。 | ||
搜索关键词: | 用掩膜 膜技术 一次 成型 原子 显微镜 探针 悬臂梁 | ||
【主权项】:
1.原子力显微镜探针和悬臂梁的一次成型制作方法,其特征在于探针和悬臂梁是通过各向异性湿法腐蚀工艺一次成型,在腐蚀过程中,探针采用有掩膜腐蚀技术腐蚀,而梁采用无掩膜腐蚀技术腐蚀,当针尖的直径达到预定值时,梁的厚度达到设定值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所,未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200410066491.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。