[发明专利]平行平面研磨机无效
| 申请号： | 200410066300.6 | 申请日： | 2004-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN1745970A | 公开（公告）日： | 2006-03-15 |
| 发明（设计）人： | 卢建伟;石塚阳一;铃木淳平 | 申请（专利权）人： | 卢建伟 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 吴林松 |
| 地址： | 200435上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种平行平面研磨机，包括吊板、上研磨盘，下研磨盘，联轴环，还包括：第一滑轮群组，包括均匀设置于上研磨盘的周沿的复数个滑轮；第二滑轮群组，包括均匀设置于的吊板的周沿的复数个滑轮；滑轮索，其交替穿过该第一组滑轮群组和第二滑轮群组的滑轮；该滑轮索的长度是可以调整的；在下研磨盘工作面格子状沟槽中设有复数孔口；所述的孔口可向外喷出砂粒或液体或气体；在联轴环上端设置定环盘，该定环盘的外圆周上设置有复数个吊环，上研磨盘上表面设置有与所述吊环对应的吊钩，每一组对应的吊环和吊钩之间以索条联接。本发明能矫正上研磨盘平面平行度的翘曲及使上研磨盘保持水平工作状态，达到与下研磨盘平面的匹配，有利于提高加工质量和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 平面 研磨机 | ||
【主权项】：
1、一种平行平面研磨机，包括吊板、上研磨盘，下研磨盘，联轴环，其特征在于：还包括：可对上研磨盘的研磨平面挠度进行调整的挠度矫正机构。
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