[发明专利]批量生产移交支持系统及半导体制造系统

摘要

一种通过网路(20)将管理在半导体装置的试制过程中生成或取得的信息的试制管理计算机(10)和管理半导体装置的批量生产的批量生产管理计算机(30)连接的批量生产移交支持系统，将批量生产移交源管理计算机(10)接收的质量和制法信息移交给批量生产移交目的地计算机(30)，同时，机差改正信息输入接收装置(14)接收对因批量生产移交源和批量生产移交目的地的半导体制造装置之间的机差而引起的半导体装置的产品质量的差异进行修正的机差改正信息的输入，利用机差改正信息提供装置(16)将该接收的机差改正信息存储到批量生产移交目的地管理计算机(30)可访问的数据库(40)中。

主权项

1.一种批量生产移交支持系统，是通过网路将管理在制造半导体装置的试制品的过程中生成或取得的信息的批量生产移交源管理计算机和管理半导体装置的批量生产的批量生产移交目的地管理计算机连接的批量生产移交支持系统，其特征在于，上述批量生产移交源管理计算机具有：接收表示半导体装置的质量的质量信息的输入和用来实现该半导体装置的质量的制法信息的输入的质量/制法信息输入接收装置；经网络对上述批量生产管理计算机发送由上述质量/制法信息接收装置接收的上述质量和制法信息的质量/制法信息发送装置；接收修正因担任制造半导体装置的结构工序的半导体制造装置产生的机差引起的半导体装置的质量的差异的机差改正信息的输入的机差改正信息输入接收装置；将由上述机差改正信息输入接收装置接收的上述机差改正信息存储在规定的存储装置中的机差改正信息存储装置；从上述存储装置中读出由上述机差改正信息存储装置存储在上述存储装置中的上述机差改正信息再将其存储到上述批量生产移交目的地管理计算机可访问的数据库中的机差改正信息提供装置，上述批量生产移交目的地管理计算机具有：经上述网络接收由上述批量生产移交源管理计算机的上述质量/制法信息发送装置发送的上述质量和制法信息的质量/制法信息接收装置；将由上述质量/制法信息接收装置接收的上述质量和制法信息存储在规定的存储装置中的质量和制法信息存储装置。