[发明专利]再剥离型粘合片材无效
申请号: | 200410056456.6 | 申请日: | 2004-08-09 |
公开(公告)号: | CN1580168A | 公开(公告)日: | 2005-02-16 |
发明(设计)人: | 松村健;赤泽光治;木内一之;高桥智一 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;C09J9/00;H01L21/301;H01L21/304 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种再剥离型粘合片材,是在基材薄膜上设有粘合剂层的再剥离型粘合片材,其特征在于,在基材薄膜与粘合剂层之间至少有一层中间层,中间层在23℃下的储藏弹性模数(G’)为3.0×104~1.0×108Pa,而且在200℃下的储藏弹性模数(G’)为1.0×103~8.0×104Pa。由此,将再剥离型粘合片材粘合在半导体晶圆上的状态下,即使将其置于加热环境中,也可以防止半导体的翘曲。 | ||
搜索关键词: | 剥离 粘合 | ||
【主权项】:
1.一种再剥离型粘合片材,是在基材薄膜上设有粘合剂层的再剥离型粘合片材,其特征在于,在基材薄膜与粘合剂层之间至少有一层中间层,中间层在23℃下的储藏弹性模数(G’)为3.0×104~1.0×108Pa,而且在200℃下的储藏弹性模数(G’)为1.0×103~8.0×104Pa。
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