[发明专利]再剥离型粘合片材无效

专利信息
申请号: 200410056456.6 申请日: 2004-08-09
公开(公告)号: CN1580168A 公开(公告)日: 2005-02-16
发明(设计)人: 松村健;赤泽光治;木内一之;高桥智一 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: C09J7/02 分类号: C09J7/02;C09J9/00;H01L21/301;H01L21/304
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 朱丹
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种再剥离型粘合片材,是在基材薄膜上设有粘合剂层的再剥离型粘合片材,其特征在于,在基材薄膜与粘合剂层之间至少有一层中间层,中间层在23℃下的储藏弹性模数(G’)为3.0×104~1.0×108Pa,而且在200℃下的储藏弹性模数(G’)为1.0×103~8.0×104Pa。由此,将再剥离型粘合片材粘合在半导体晶圆上的状态下,即使将其置于加热环境中,也可以防止半导体的翘曲。
搜索关键词: 剥离 粘合
【主权项】:
1.一种再剥离型粘合片材,是在基材薄膜上设有粘合剂层的再剥离型粘合片材,其特征在于,在基材薄膜与粘合剂层之间至少有一层中间层,中间层在23℃下的储藏弹性模数(G’)为3.0×104~1.0×108Pa,而且在200℃下的储藏弹性模数(G’)为1.0×103~8.0×104Pa。
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