[发明专利]位置检测装置、光学装置、投影系统、位置检测方法以及程序

摘要

本发明提供位置检测装置、光学装置、投影系统、位置检测方法以及程序。揭示可以进行与温度变化相对应的位置检测的位置检测装置。位置检测装置包括：对应于对象物的位置变化生成多个检测信号的第1检测传感器；对上述多个检测信号中至少1个检测信号，通过进行使用了从该检测信号中得到的变换数据的变换处理生成变换信号的变换单元；基于上述变换信号计算上述对象物的位置的计算单元；检测温度的第2检测传感器。

主权项

1.一种位置检测装置，其特征在于包括：根据对象物的位置变化生成多个检测信号的第1检测传感器；对上述多个检测信号中至少1个检测信号，通过进行使用了从该检测信号中得到的变换数据的变换处理来生成变换信号的变换单元；基于上述变换信号计算上述对象物的位置的计算单元；以及检测温度的第2检测传感器，其中，上述变换单元在上述多个检测信号中对第1检测信号进行基于该第1检测信号的上述变换处理，对第2检测信号禁止基于该第2检测信号的上述变换处理，上述第2检测信号是由上述第2检测传感器在第1时刻检测出的温度，与在其后的第2时刻检测出的温度之差比规定值还大的情况下，由上述第1检测传感器所生成的检测信号。