[发明专利]局部涂覆分离剂的方法和装置无效
| 申请号： | 200410045687.7 | 申请日： | 2004-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN1576385A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | S·海恩 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 胡强;赵辛 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及借助蒸发器在真空室内给运动的基体局部涂上一层阻碍涂覆的分离剂的方法和装置，该真空室具有至少一个金属蒸发器，分离剂在第一腔室里被加热蒸发并以蒸气形态通过至少一个伺服阀被转入一个配备有至少一个对准当时的基体的喷嘴的第二腔室。为了在这种情况下能将所蒸发的图形、宽度和层厚保持在小极限范围里并能立即中断蒸气流出而规定：a)尽可能恒定地保持蒸发器温度；b)来自第一腔室的蒸气通过至少一个伺服阀受控制地被输入第二腔室并在第二腔室中最初平行于第一腔室地被供给至少一个喷嘴；c)伺服阀在基体停止或没有基体时被关闭并保持关闭状态。至少一个伺服阀最好是比例阀，它被安置在第一腔室和第二腔室之间。 | ||
| 搜索关键词： | 局部 分离 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种借助一个蒸发器(1)在蒸发室中给运动的基体(14)局部涂上一层阻碍涂覆的分离剂(14)的方法，该蒸发室有至少一个金属蒸发器(33)，其中，该分离剂(14)在一个第一腔室(2)里通过加热被蒸发并且以蒸气形态通过至少一个伺服阀(12)被转入一个配备有至少一个对准当时的基体(10)的喷嘴(8)的第二腔室(6)中，其特征在于，a)尽可能恒定地保持蒸发器温度，b)来自该第一腔室(2)的蒸气通过所述的至少一个伺服阀(12)受控制地被输入该第二腔室(6)里并且在该第二腔室中最初平行于第一腔室(2)地被供给所述的至少一个喷嘴(8)，c)该伺服阀(12)在基体(10)停止或没有基体时被关闭并保持关闭状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用菲林股份有限两合公司，未经应用菲林股份有限两合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410045687.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
