[发明专利]传送盒的填充装置有效
| 申请号： | 200410037449.1 | 申请日： | 2004-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1689932A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 邱铭乾 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/30 | 分类号： | B65D85/30;B65D85/86 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明有关一种传送盒的填充装置，尤指SMIF系统所使用的传送盒内的填充装置，该传送盒具有座体，而座体上方覆盖有盖体，且盖体内具有可容置光罩或晶圆的容置空间，而座体内设置有透孔，并于透孔内穿设有填充装置，而填充装置内具有中空通道，且中空通道的一端设置有开合部，而开合部由复数个活页所组成，并于远离开合部的另一端设置有导引斜面，使充气管可藉由开合部而伸入传送盒内充填气体，且当充气管抽出时该开合部会自行闭合，以减少摩擦的产生，进而有效的防止细屑的产生，并利用橡胶或塑胶一体成形制成，可有效的降低成本并利于加工，使加工成本下降。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 填充 装置 | ||
【主权项】：
1、一种传送盒的填充装置，为SMIF系统所使用的传送盒内的填充装置，该传送盒具有座体，而该座体上方覆盖有盖体，且盖体内具有可容置光罩或晶圆的容置空间，其特征在于，该座体内设置有透孔，并于透孔内穿设有填充装置，而填充装置内具有中空通道，且中空通道的一端设置有开合部，使充气管可藉由开合部而伸入传送盒内充填气体，且当充气管抽出时该开合部会自行闭合。
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