[发明专利]衍射元件及相应的装置、设备、系统和光栅设计方法

摘要

一种衍射元件，包括：透光部件；以及在透光部件的至少一个面上形成的衍射光栅。当具有第一波长λ1的第一激光束和具有第二波长λ2的第二激光束分别以第一和第二衍射效率透过衍射元件时，衍射元件用于仅通过衍射元件的一个面使第一和第二衍射效率彼此相等。衍射光栅具有针对第一激光束的第一相位调制量φ1和针对第二激光束的第二相位调制量φ2，并且第一和第二相位调制量φ1和φ2分别近似为2πN1±Δφ和2πN2±Δφ，其中，“N1”和“N2”是自然数，而“Δφ”是相位变化量。

主权项

1.一种衍射元件，包括：透光部件；以及在透光部件的至少一个面上形成的衍射光栅；其中，当具有第一波长λ1的第一激光束和具有第二波长λ2的第二激光束透过衍射元件时，使第一和第二激光束变为分别具有第一和第二衍射效率的第一和第二衍射光束；其中，衍射元件用于仅通过衍射元件的一个面使第一和第二衍射效率彼此相等；其中，衍射光栅具有针对第一激光束的第一相位调制量φ1和针对第二激光束的第二相位调制量φ2，并且第一和第二相位调制量φ1和φ2分别由以下等式(1)和(2)近似表达：φ1＝2πN1±Δφ -(1)φ2＝2πN2±Δφ -(2)其中，“N1”和“N2”是自然数，而“Δφ”是相位变化量。