[发明专利]微调载物台装置无效
| 申请号： | 200410031955.X | 申请日： | 2004-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1534689A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | 堀内雅彦;富田良幸 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;B23Q5/28 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种微调载物台装置，即使在搭载负荷超过5kg时，也能够实现高停止稳定性和高响应性。微调载物台装置包括在基体(100)上构筑的倾斜载物台、X－Y载物台。倾斜载物台具有倾斜板(201)，并且在倾斜板和基体之间具备至少3个转换机构，该转换机构通过第一压电驱动器(Z1－1、Z2－2)和楔形段(215)的组合，将与基体平行的运动转换为与基体垂直的Z轴方向运动。X－Y载物台，具有与倾斜板组合的X－Y板(301)，并且，还包括：至少2个第二压电驱动器(302、303)，与X轴方向、Y轴方向的一方相互平行地延伸，至少以2点驱动上述X－Y板；以及第三压电驱动器(304)，在X轴方向、Y轴方向的另一方延伸，并驱动上述X－Y板。 | ||
| 搜索关键词： | 微调 载物台 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微调载物台装置，包括在基体上构筑的倾斜载物台、X-Y载物台，其特征在于，上述倾斜载物台具有倾斜板，并且在上述倾斜板和上述基体之间具备至少3个转换机构，该转换机构通过第一压电驱动器和楔形段的组合，将与上述基体平行的运动转换为与上述基体垂直的Z轴方向运动；上述X-Y载物台，具有与上述倾斜板组合的X-Y板，并且，还包括：至少2个第二压电驱动器，与X轴方向、Y轴方向的一方相互平行地延伸，至少以2点驱动上述X-Y板；以及第三压电驱动器，在X轴方向、Y轴方向的另一方延伸，并驱动上述X-Y板。
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