[发明专利]X－Y载物台装置无效
| 申请号： | 200410030272.2 | 申请日： | 2004-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1534688A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | 内海和晴;小原达也 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过尽可能减少静压轴承这样的高价部件，可以获得高停止精度的X－Y载物台装置。其包括在底座(100)以沿一轴方向延伸的方式固定的两个导轨(110、120)，以沿着和前述一轴的方向成直角方向延伸的方式装配到这些导轨上、并且能够沿着这些导轨在前述一轴向方向移动的Y滑子，能够沿着Y滑子在与前述一轴方向成直角方向移动的装配到Y滑子上的X滑子(140)。Y滑子分别经由滚动轴承(111、121)被支承在两个导轨上，能够离开底座表面移动，X滑子经由加装在Y滑子之间的滚动轴承移动，同时，通过在与底座表面对向的下面设置多个静压轴承(141～143)，能够在从底座表面上浮起的状态下移动。此外，借助制动机构(190)提高停止精度。 | ||
| 搜索关键词： | 载物台 装置 | ||
【主权项】：
1、一种X-Y载物台装置，其特征在于包括：进行过表面加工的底座；在该底座上沿着一轴方向延伸地被固定的导向构件，在该导向构件上，以沿着与前述一轴方向成直角的方向延伸的方式被组合、并且沿该导向构件能够在前述一轴方向上移动的第一滑子，能够沿着该第一滑子在与前述一轴方向成直角的方向移动的、被组合到该第一滑子上的第二滑子，其中，前述第一滑子经由滚动轴承被支承在前述导向构件上，能够离开前述底座表面地进行移动，前述第二滑子，与前述第一滑子之间加装滚动轴承并能够移动地构成，同时，通过在与前述底座表面对向的下表面至少设置一个静压轴承，可在前述底座表面上以从其上浮起的状态移动。
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