[发明专利]曝光装置和象差校正方法无效
| 申请号： | 200410028478.1 | 申请日： | 2004-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1530753A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | 冈田芳幸 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种曝光装置，具有检测气压的气压计、驱动投影光学系统的透镜的透镜驱动单元、改变曝光光源的波长的光源波长驱动单元、和可以在光轴方向上驱动晶片台的晶片台驱动单元，可以通过透镜驱动单元、光源波长驱动单元和晶片台驱动单元校正由于气压变动产生的象差。这里，在该曝光装置的拍摄曝光中用透镜驱动单元和/或晶片台驱动单元校正象差，在非曝光时(拍摄之间)用光源波长驱动单元和/或透镜驱动单元和晶片台驱动单元校正象差。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 象差 校正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，其特征在于：它备有测量投影光学系统的附近或内部的气压的气压测量部件、包含通过驱动上述投影光学系统的透镜从而调整象差在内，根据上述气压测量部件所测量的气压而反复校正象差的第1校正部件、和包含通过变更曝光光源的波长从而调整象差在内，根据上述气压测量部件所测量的气压，以比由上述第1校正部件反复校正象差的时间间隔长的时间间隔校正象差的第2校正部件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410028478.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
