[发明专利]一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200410028010.2 | 申请日： | 2004-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN1594644A | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | 林洪;沈辉;汪保卫;陈达 | 申请（专利权）人： | 广州粤海真空技术有限公司;中国科学院广州能源研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州知友专利代理有限公司 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 510070广东省广州市先*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)清洗处理镀膜基片；(2)开真空镀膜室，在样品转架上放置镀膜基片；(3)烘烤真空镀膜室并开启相应泵体冷却水系统，抽真空达到本底真空；(4)经质量流量计在真空镀膜室中通入氩气，调节溅射工作气压；(5)启动直流靶极电源，电离氩气，调节电源溅射电流，预溅射去除金属Ti靶的靶面化合物；(6)经质量流量计同时引入氮气和氧气进行反应溅射，分段调节或者连续调节镀膜参数，依次沉积不同金属含量的吸收层和化合物减反射层；(7)停机，取出薄膜样品。本发明制备工艺环保，所制备的薄膜具有光热转换效率高和使用寿命长的特点，可广泛用于太阳能光热转换领域的集热表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tioxny 高效 太阳能 光热 转换 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)清洗处理镀膜基片；(2)开真空镀膜室，在样品转架上放置清洗处理后的镀膜基片；(3)在50～180℃下烘烤真空镀膜室并开启相应泵体冷却水系统，抽真空达到本底真空2×10-3～8×10-3pa；(4)通过质量流量计在真空镀膜室中通入氩气，流量为30～50sccm，调节真空镀膜室溅射工作气压至0.3～1.0Pa；(5)启动直流Ti靶极电源，电离氩气，调节电源溅射电流至5～7A，预溅射去除Ti靶的表面化合物，保持新鲜靶材表面；(6)经质量流量计同时引入氮气和氧气进行反应溅射，分段调节或者连续调节溅射电流、反应气体流量、镀膜基片温度、靶基距离、溅射工作气压以及溅射时间镀膜参数，依次沉积不同金属含量的吸收层和化合物减反射层；(7)停机，取出样品。
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