[发明专利]信息记录薄膜材料及其制备方法无效
| 申请号： | 200410026489.6 | 申请日： | 2004-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN1564253A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 周照耀 | 申请（专利权）人： | 周照耀 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510640广东省广州市天*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种信息记录薄膜材料制备方法，包括下述步骤：(1)加工基片；(2)在基片的表面上形成薄膜；(3)在基片表面的薄膜上覆盖上光刻胶；(4)用刻录机在基片上曝光刻录出斑点阵列；(5)将刻录有斑点阵列的基片显影；(6)对显影后的基片进行刻蚀，在基片表面形成可以进行信息记录的柱状微凸起阵列薄膜层。本发明所使用的设备简单，操作步骤比较方便，制造效率较高，工艺过程容易控制，制造成本低，适合大批量生产应用，所制备的信息记录薄膜材料重复读写的次数没有限制，可以提高信息存储的可靠性及信息传递的速度，应用范围非常广泛，市场前景较好。 | ||
| 搜索关键词： | 信息 记录 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种信息记录薄膜材料制备方法，其特征在于包括下述步骤：(1)加工基片；(2)在基片的表面上形成薄膜；(3)在基片表面的薄膜上覆盖上光刻胶；(4)用刻录机在基片上曝光刻录出斑点阵列；(5)将刻录有斑点阵列的基片显影；(6)对显影后的基片进行刻蚀，在基片表面形成可以进行信息记录的柱状微凸起阵列薄膜层。
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