[发明专利]原子力显微镜探针装置及其制造方法有效
| 申请号： | 200410015593.5 | 申请日： | 2004-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1661355A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 宋长志 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种原子力显微镜探针装置，包括：一探针座；一固定于探针座、具有至少一可设置针尖的末端的悬臂；以及设置于该悬臂末端用作针尖的碳纳米管。其中，该探针悬臂末端的顶部形成有一具有孔洞的平面，该碳纳米管由该孔洞基本垂直于该平面长出。本发明还提供上述原子力显微镜探针装置的制造方法。本发明采用X光深刻电铸模造制程处理需设置碳纳米管针尖的原子力显微镜探针悬臂，解决现有技术中用作原子力显微镜探针针尖碳纳米管的取向性低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 探针 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种原子力显微镜探针装置，包括：一探针座；一固定于探针座、具有至少一可设置针尖的末端的悬臂；以及设置于该悬臂末端用作针尖的碳纳米管，其特征在于，该探针悬臂末端的顶部形成有一具有孔洞的平面，该碳纳米管由该孔洞基本垂直于该平面长出。
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