[发明专利]柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及微流量测量的传感器及制作方法。包括：入、出口1、11、上盖2、微腔体3、9、主体4、导线5、8、支架6、信号处理模块7、微管道10。上盖氧化、涂胶、光刻、去二氧化硅、去胶，刻蚀得两通孔；主体A、B面氧化、A面涂胶、光刻、去二氧化硅、一次腐蚀得两个腐蚀坑、B面制导电地层、激励层、四个叉指换能器，二次腐蚀得两个凹坑、两个薄膜，一次或二次腐蚀可得微细沟道。用柔性平板波提高灵敏度；用薄膜内应力测量动态范围大，提高动态范围；用双力传感器，解决背压影响和温度补偿；用非加热法实现生物兼容性；利用应力响应快提高响应速度；无运动部件，降低加工难度，提高成品率；两力传感器相隔远，无干扰，提高测量准确性。

主权项

1、柔性平板波压差式微流量传感器，包括：入口(1)、导线一(5)、支架(6)、信号处理模块(7)、导线二(8)和出口(11)，从导线一(5)和导线二(8)中引出到信号处理模块(7)中，信号处理模块(7)固定于支架(6)上，其特征在于还包括：上盖(2)、微腔体一(3)、主体(4)、微腔体二(9)和微管道(10)，入口(1)和出口(11)分别与上盖(2)上的通孔一(12)和通孔二(13)对准，使入口(1)和出口(11)分别固定于上盖(2)的一面上；上盖(2)与主体(4)的四周对齐，上盖(2)的另一面与主体(4)的A面固定分别形成微腔体一(3)、微腔体二(9)和连通微腔体一(3)、微腔体二(9)的微管道(10)；主体(4)的B面固定在支架(6)上，信号处理模块(7)和主体(4)之间有空隙。